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氮化硅是由硅元素和氮元素構成的化合物。在氮氣氣氛下，將單質硅的粉末加熱到1300-1400°C之間，硅粉末樣品的重量隨著硅單質與氮氣的反應遞增。在沒有鐵催化劑的情況下，約7個小時后硅粉樣品的重量不再增加，此時反應完成生成Si3N4。除了Si3N4外，還有其他幾種硅的氮化物（根據氮化程度和硅的氧化態所確定的相對應化學式）也已被文獻所報道。
1、耐熱，在常壓下，Si3N4沒有熔點，于1870℃左右直接分解，可耐氧化到1400℃，實際使用達1200℃(超過1200℃力學強度會下降)。
2、熱膨脹系數小（2.8-3.2）×10-6/℃，導熱系數高，抗熱震，從室溫到1000℃熱沖擊不會開裂。
3、摩擦系數小（0.1），有自潤滑性，（加油的金屬表面摩擦系數0.1-0.2）。
4、化學性質穩定，耐腐蝕，除氫氟酸外不與其他其他無機酸反應，800℃干燥氣氛下不與氧發生反應，超過800℃，開始在在表面生成氧化硅膜，隨著溫度升高氧化硅膜逐漸變穩定，1000℃左右可與氧生成致密氧化硅膜。可保持至1400℃基本穩定。
5、氮化硅硬度高，耐磨損，莫氏硬度僅次于金剛石、立方氮化硼、碳化硼、碳化硅，抗機械沖擊。
6、氮化硅是共價鍵化合物，很難致密，有時需外加助劑，密度約為3.4（不同成型方法致密度不一樣，熱壓成型致密度較高，鋼的密度約為7.85，鈦合金的密度約為4.5左右，單位均為g/cm3）。
7、脆性大，可采用氮化硅纖維增韌，使其高溫強度穩定。